概览SYRUS 1100 是一款用于光学镜片的真空镀膜设备,专为大批量库存镜片量产及处方(RX)镜片的大批次生产设计。设备支持宽带防反射(AR)、镜面及其它光学镀膜,通过模块化的腔室与工艺单元实现多样化配置。
主要优点- 适合大批量生产:面向库存镜片与 RX 大批量生产;依据工艺与配置,8 小时产能约为 350–960 副。
- 单位镜片成本可控:从腔体内环到外环保持可重复的色彩稳定性与均匀沉积,降低报废率并降低单件制造成本。
- 腔室尺寸灵活:提供标准腔室直径 1100 mm 与 1350 mm,以匹配不同产能需求。
突出特点- 卓越的循环效率:针对各腔室尺寸优化的泵组和 Meissner 冷阱,保证快速抽真空与更短的门到门循环时间。
- 均匀性控制:最多可配置两块分布/均匀化挡板(1 块固定、1 块可移动),以优化沉积剖面并提高有效产出。
- 模块化蒸镀系统:兼容电子束枪、热蒸发器与离子源;专有坩埚可快速更换以缩短换料时间。
其他功能与可靠性- 维护与联网:支持网络连接、远程分析、数据记录与远程软件升级,便于提高运行时间与追溯性。
- 工艺组件与配方:提供多种成熟的工艺组件与膜系,并支持客户化工艺开发。
- 工艺安全控制:先进的人机界面与多点石英晶体传感器系统,保障自动化流程期间的工艺安全。
适用范围- 宽带防反射(AR)镀膜、镜面及装饰性镀膜、库存镜片批量生产与大批次 RX 镜片制造。
技术规格- 型号:SYRUS 1100
- 适用:视光学(镜片)真空镀膜
- 标准腔室直径:1100 mm 与 1350 mm
- 示例产能:约 350–960 副 / 8 小时(视工艺与配置而定)
- 均匀化挡板:最多 2 块(固定 + 可移动)
- 镀膜伞布局:分瓣(90° / 120°)或完整镀膜伞
- 工艺组件:电子枪、热蒸发器、离子源等可选
- 泵组与冷阱:按腔室尺寸优化的泵组与 Meissner 冷阱
- 联网能力:支持在线连接、数据记录与远程分析/升级
- 工艺安全:多点石英晶体传感器系统用于自动化控制