防反光真空镀膜机 DLC 600

概述
LEYBOLD OPTICS DLC 600 是一款精密真空镀膜设备，采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺，在光学和热成像组件上沉积类金刚石碳（DLC）膜。该设备旨在为锗（Ge）和硅（Si）基材提供硬且均匀、具有环境耐受性的DLC层，优化用于红外（IR）减反射和表面保护涂层。

主要优点

• 基材兼容性强：采用重力固定，可处理各种形状与几何结构的基材，最大直径可达300 mm，厚度约30–40 mm。
• 面向IR的工艺优化：工艺参数与材料针对Ge和Si基材进行匹配，以提高红外透过率并实现一致的减反射性能。
• 耐久的DLC保护层：系统沉积极其坚硬、均匀且具有较高环境耐受性的DLC膜，以保护暴露的光学表面。

突出特性
工艺腔体与气体分布 — 基准级均匀性：DLC 600 的气体喷头设计可在腔体内实现高度均匀的工艺气体分布，确保基材全区域的膜层生长一致并严密控制膜厚，这对于夜视、距离传感器等低光或红外应用尤为关键。

在线光学监测 — 重现性的层堆栈：集成的 OMS 5100 光学监测系统对膜层生长进行实时控制，确保膜厚公差和高重复性，使设计的层堆栈与最终产品一致。

技术规格

• 沉积技术：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）用于DLC膜。
• 涂层类型：类金刚石碳（DLC）— 高硬度、均匀、耐环境。
• 适用基材：锗（Ge）与硅（Si），为IR减反射应用优化。
• 最大基材直径：可达300 mm。
• 典型基材高度：约30–40 mm。
• 基材固定方式：重力固定以适配多种几何形状。
• 工艺控制：OMS 5100 在线光学监测用于膜厚控制与可重复性。
• 气体分布：专用气体喷头以实现卓越的均匀性。
• 产品代码：CUBE-00010-019。

典型应用

• 用于精密光学的IR减反射涂层。
• 夜视设备和热成像系统的DLC保护层。
• 在红外波段工作的传感器与光学元件，需耐用且可重复的涂层。