防反光真空镀膜机 SYRUSpro series

反射

概述
SYRUSpro 系列为 Bühler Leybold Optics 研发的精密光学真空镀膜机，面向深紫外（DUV）、可见光（VIS）与红外（IR）波段的 24/7 批量光学滤波器生产。该系列提供可配置的工艺解决方案，以满足苛刻的镀膜规格与高产能制造需求。

主要优点

• 适用于严苛应用：可满足 IR、DUV 及极端波长范围的严格规格要求。
• 匹配生产工艺：丰富的高质量关键部件选择，可按工艺要求进行精确配置。
• 高度灵活：提供 8 种腔室尺寸以匹配装载能力与基片尺寸。

突出特点

• 腔室选项：8 种腔室，内径范围 710 mm 至 2800 mm，可根据装载与基片尺寸选择最适腔室。
• 镀膜类型：支持截止滤光片（短通/长通）、UV/IR 截止滤光片、notch 与窄带通滤光片、二色性彩色滤光片、偏振分光器、激光用 AR/HR 镀膜等多种专业镀膜。
• 关键部件灵活性：可配置 in-situ 光学监控、等离子体源、多种电子束与热蒸镀源、石英晶体测量（QCM）及多种基片夹持系统。

其它功能与应用优化

• 自动化：先进的工艺控制系统结合高度编程灵活性与自动化水平，提高连续生产效率。
• DUV 优化：提供特殊处理的腔室表面、精选材料及定制组件配置，以实现 193 nm 光刻用低损耗镀膜。
• IR 应用：可针对大量 IR 镀膜材料进行机台适配，确保平面与高曲率基片的优良膜层性能与均匀性。
• 可定制：Bühler Leybold Optics 与客户协作，指定满足质量、效率与可靠性要求的精确配置。

下载

• Precision optics 宣传册 (PDF)
• Syruspro 系列 技术资料 (PDF)

特性 / 规格（概要）

• 系列 / 型号：SYRUSpro
• 用途：24/7 光学滤波器批量生产
• 光谱范围：DUV、VIS、IR
• 腔室尺寸：8 种；内径 710 mm 至 2800 mm
• 支持镀膜类型：截止滤光片、UV/IR 截止、notch、窄带通、二色性彩色滤光片、偏振分光器、激光用 AR/HR 等
• 可配置部件：in-situ 光学监控、等离子体源、电子束与热蒸镀源、QCM、基片夹持系统
• 自动化：用于连续生产的高级工艺控制与高编程灵活性
• DUV 优化：特殊腔室表面处理与精选材料以实现 193 nm 低损耗镀膜
• IR 能力：针对高材料通量的 IR 配置，确保平面与曲面基片的均匀镀膜