电子枪真空镀膜机

... 概述
LEYBOLD OPTICS LTE series是一款用于纳米级结构化特征并与lift‑off工艺配套的长抛射真空蒸镀系统。该系列特别针对半导体制造与研发设计，能实现近垂直的定向沉积，保证高均匀性的图形薄膜。

主要优势

• 优异的涂覆质量：在结构化晶圆上实现高精度涂覆，最小化阴影效应，适用于高级3D图形。
• 服务与专业支持：依托Leybold Optics / Bühler在薄膜技术方面的经验与全球服务网络。
• 灵活性：可蒸镀金属和氧化物，支持多种晶圆尺寸与大批量材料处理；系统可按工艺需求定制。

... Dexinmag 的物理气相沉积 (PVD) 设备可通过物理过程（蒸发、溅射、离子束等）将原子或分子从材料源转移到基底表面，用于制备薄膜和纳米/微结构涂层。 PVD 涂层的优点

• 简单--不涉及化学反应，只有原子/分子的物理转移。
• 可控--沉积速率和薄膜厚度可由温度、角度、距离、功率和其他参数控制。
• 安全--涂层过程中不需要有毒、有害、易燃或易爆气体。 产品类别
  • 磁控溅射镀膜系统
  • 激光镀膜设备
  • 蒸发镀膜设备
  • 电子束蒸发/镀膜系统
  。 案例

... 概述

• DXD-500电子束蒸镀涂覆系统用于制备导电膜、半导体膜、铁电膜和光学薄膜。适用于高校与科研机构的科学研究及小批量生产。

• 系统主要由蒸镀真空室、E型电子枪、加热蒸镀电极、基板加热回转盘、工作气体回路、泵浦系统、真空测量与电子控制系统、安装设备及相关配件组成。

• 型号：DXD-500
• 结构：真空室采用U形箱体，前门，后置泵系统。
• 真空室内尺寸：500

... DXMC-500A 为电子束 PVD 镀膜系统，用于金属（尤其耐火金属）及部分氧化物的蒸发镀膜。设备采用270°电子束偏转，配备等离子体发光放电清洗与一体化工艺控制，适用于实验室与轻工业生产。

主要技术参数

• 真空腔体：SUS304 不锈钢，尺寸 Φ500 mm × H600 mm，前门带观察窗，可查看电子枪与工件。
• 电子枪：一套 E 型 10 kW，位于腔体底部，带气动挡板；电子束偏转角270°；六孔水冷铜坩埚（电气可换位）。
• 热蒸发：配置两套轮换工作热蒸发源（可切换）；配电子枪蒸发源