STEINMEYER直流电动机定位系统

重复精度: 0.5 µm - 2 µm
运行行程: 100 mm - 600 mm
传送速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... 100 - 200 mm (XY) / 25 - 50 mm (Z) - 最大载荷20 N (Z) - 驱动：直线电机（无铁）、空气轴承 (XY) | 滚珠丝杠、直流电机、交叉滚子 (Z) - 反馈：直线光栅尺 - 运动控制器FMC-250/280, FMC-400/450, ACS, PLC 集成 定制选项： - 可堆叠系统设计 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 重复精度： 0.3 - ± 0.4 µm - 速度： 1210 - 2420 mm (XY) / 30 - 60 mm (Z) - 最大负载100 n (X) / 500 n (Y) / 150 n (Z) - 驱动：直线电机（无铁）、空气轴承 (XY) | 滚珠丝杠、直流电机、交叉滚子轴承 (Z) - 反馈：直线光栅尺 - 运动控制器FMC-250/280, ...

重复精度: 0.2 µm - 2 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 10 mm - 600 mm

... 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器 - 减震设计，具有出色的加工值，重复性可达 1µm - 减少因空气承载样品架而产生的废气排放 - 出色的使用寿命和全天候免维护运行 该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程，每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜，用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上，第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z 轴上。气浮样品架将样品沿 ...

重复精度: 0.01 µm - 2.5 µm
传送速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 10 mm/s (Rxz2)、25-35 (Ry、Rz1) - 最大负载80 N (Z) / 0.5 N (Rz2) - 驱动直流电机，滚珠丝杠 (XYZ, XR) | 交流伺服，谐波驱动 (YR, Rxyz1-2) - 反馈：电机编码器 定制选项： - 可为 ISO 14644-1 级无尘室配置（根据要求可达到 1 级） - 不同的电机类型：直流电机、步进电机和线性电机 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: max 30.0 kg
运行行程: 100 mm - 200 mm

... ） - 重复性：± 0.3 - ± 0.4 µm (XYZ) - 定位速度：20 毫米/秒（XY）/30 毫米/秒（Z） - 最大负载45 n (XY) / 150 n (Z) - 电机直流电机，交叉滚子轴承（XYZ） - 反馈线性刻度 定制选项： - 不同的电机类型：直流电机或步进电机 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
运行行程: 50 mm - 200 mm
传送速度: 30 mm/s

... ± 0.7 µm (XY) / ± 0.3 - ± 2.4 µm (Z) - 定位速度：30 毫米/秒（XYZ） - 最大载荷110 n (XY) / 30 n (Z) - 电机直流电机，滚珠丝杠（XYZ） - 反馈： 线性刻度线性刻度 定制选项： - 行程可达 150 毫米 - 可选择不同的测量系统分辨率 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
运行行程: 100 mm - 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... YZ） - 重复性：± 0.3 - ± 0.4 µm (XYZ) - 定位速度：25 毫米/秒（XY）/15 毫米/秒（Z） - 最大载荷45 n (X) / 150 n (YZ) - 电机直流电机，滚珠丝杠（XYZ） - 反馈： 线性刻度线性刻度 定制选项： - 每个轴的不同行程为 50 - 300 毫米 - 与 DT130 ...

重复精度: 2 µm
运行行程: 65 mm
传送速度: 25 mm/s

... (XY) - 电机直流电机 - 反馈：电机编码器 定制选项： - 不同的电机类型：直流电机或步进电机 - 可与 XY-Z 定位系统（如 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.7 µm
运行行程: 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 ...

重复精度: 0.001 µm - 4.5 µm
运行行程: 50 mm - 360 mm
传送速度: 50 mm/s - 200 mm/s

... Rz)) - 最大载荷14 N (X) / 95 N (Z) / 100 N (Phi (Rz)) - 电机无铁动态线性电机，直流电机（XZ）/力矩电机（Phi (Rz) - 反馈：线性刻度 (XZ) / 角度刻度 (Phi (Rz)) 定制选项： - 不同的电机类型：直流电机、步进电机、直线电机和纳米电机 - ...