STEINMEYER紧凑型定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 0.01 µm - 2.5 µm
传送速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 微米范围内的稳定性带来超精细的细节成像和更高的变焦水平 - 循环时间短，速度高达 35 毫米/秒 - 结果重复性极高，可达 2.5 µm，旋转运动精度可达 0.02° - 采用长期可靠的标准轴，维护成本低，使用寿命超长 这种 9 轴定位系统可以在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品，例如注射喷嘴、支架、小型切割工具、插管和其他旋转对称部件。该系统由 KLT310 ...

重复精度: 1, 0.8 µm
载荷: 5 kg
运行行程: 5, 15 mm

... XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - 定位速度：30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - 最大负载250 N (XYRz) - 电机旋转电机，Kugelgewindetrieb - 反馈：开环 定制选项： - 适应工艺：孔径、支架、进料器、传感器 - 无尘室 ISO 14644-1 配置（根据要求可达到 1 级） - 带机架、隔振装置和外壳的个性化设计 - 针对定位任务进行 ...

重复精度: 0.4, 0.7 µm
载荷: 28, 10, 0.5 kg
运行行程: 3, 5 mm

... ± 3°的旋转运动。运动 R (Phi) 是 XY 轴组合的结果。 规格 - 行程：± 5 毫米（XY）/± 3 毫米（Rz） - 重复性：± 0.4 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.0002 - ± 0.0003 µm (Rz) - 定位速度：50 - 100 mm/s (XY) / 10 - 20 mm/s (Rz) - 最大负载5 N (XY) / 100 N (Rz) - 孔径： 730 x 730 毫米 - ...

重复精度: 0.2 µm - 0.3 µm
载荷: 500 g
运行行程: 10 mm

... MP53-3 微型 XYZ 定位系统 可定制： - 紧凑型应用的理想选择 - 分辨率在亚微米范围内 - 负载能力高达 5 N - 高精度定位，质量可靠稳定 MP53 定位系统是用于 X、Y 和 Z 轴运动的小型化三轴系统，行程范围为 ...

重复精度: 0.8 µm - 4 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 极高的分辨率 - 适用于有限的建筑空间 - 负载能力高达 10 N - 通过细螺纹主轴实现更精细的应用调整 - 使用寿命长，通过仿形导轨轴承实现特别精确的运动 这种微型 X-Y-Z 系统非常适合空间有限的定位应用。与细螺纹主轴相结合，XYZ Stage 可实现极高的分辨率值。同时，这种高精度定位系统还具有极高的性价比。 规格 - ...

重复精度: 1.5 µm - 3.5 µm
载荷: 663 g
运行行程: 40 mm

... MP95-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 组件和附加轴对准的理想选择 - XYZ 行程达 40 毫米，尺寸紧凑（145 x 95 x 130 毫米） - 三个横向方向的高分辨率逐步校正 - 重复精度高达 1.5 微米 XYZ 定位系统是一种笛卡尔定向定位系统，由三个微型线性平台（3 ...

重复精度: 2.3 µm - 4.5 µm
载荷: 4.5 kg
运行行程: 50 µm - 50 µm

... MP130-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 高刚性带来微米级精度 - 动态速度高达 30 mm/s - 负载高达 45 N - 交叉滚柱轴承导轨使摩擦阻力最小 使用我们的 FMC 系列控制器，可以轻松控制带有螺杆驱动和直流或步进电机的紧凑型三轴对准系统。使用相应的调试软件 FMC Quick，系统可在几分钟内完成初始测试。 规格 - ...