STEINMEYER组合模块定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: max 30.0 kg
运行行程: 100 mm - 200 mm

... 用于可变负载和移动负载的 XYZ 测量系统 可定制： - 工件测量或捕捉高工件三维轮廓的理想之选 - 不受载荷影响的高精度测量，即使是移动物体也能达到 ± 1 µm - 测量误差大幅降低至 5 µrad 以下 - 完美的直线度为 ± 0.5 µm，平面度为 ± 1 µm - 独立于平面度的接口和调整可能性 该 XYZ 定位系统专为高精度测量可变载荷和移动物体而设计。如果需要连续测量不同重量级别的物体，传统的测量平台很快就会达到极限。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
运行行程: 50 mm - 200 mm
传送速度: 30 mm/s

... 用于高精度自动光学检测的 XYZ 定位系统 可定制： - 高精度自动化检测过程的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 测量误差降至 3 µm 以下 这种三轴定位系统是专为高精度测量应用而开发的，在这种情况下，XY 平台将被测物体移动到 Z 轴上的传感器或照相机时，俯仰和偏航误差极小。例如，在测量部件或记录三维轮廓（即使是高部件）时就是如此。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
运行行程: 100 mm - 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 带控制器的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.3 微米 - 以 30 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 1 的完美平面度，可定位高达 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - ...

重复精度: 0.001 µm - 4.5 µm
运行行程: 50 mm - 360 mm
传送速度: 50 mm/s - 200 mm/s

... XZ-Phi 系统 可定制： - 安装高精度测量系统的理想选择 - 亚微米范围内的测量系统分辨率可达 0.1 µm / 0.0001° - 高精度重复性可达 0.3 µm - 最精细的旋转运动可达 0.001° - 维护成本低，使用寿命极长 该 X-Z-Phi 多轴定位系统由高精度和耐用的标准轴（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）组成，可理想地组合成高精度测量装置。对于水平运动，PMT160-300-EDLM ...

重复精度: 0.5 µm - 1.5 µm
运行行程: 50, 150, 300 mm
传送速度: 25 mm/s

... 用于实验室和晶片检测的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.5 微米 - 以 50 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 0.5 µm 的完美平面度，可定位最大 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - ...

重复精度: 0.4 µm - 2.2 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 1.12 mm/s - 25 mm/s

... XZ Labor- und Waferinspektion 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.4 µm - 在 50 mm/s 的相对较高定位速度下，步距最小，可靠性最高 - ± 1 的完美平面度，可定位 5 公斤以下的中等载荷 XZ 组合包括 PMT160 的高精度和耐用标准线性轴。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - ...