STEINMEYER高解析度定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 2 µm
运行行程: 65 mm
传送速度: 25 mm/s

... (XY) - 电机直流电机 - 反馈：电机编码器 定制选项： - 不同的电机类型：直流电机或步进电机 - 可与 XY-Z 定位系统（如 LA85、MT130）结合使用 - 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号 - 可立即使用预配置的控制器和示例软件 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.7 µm
运行行程: 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 可定制： - 样品检测的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 将测量偏差降至 3 µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 ...

重复精度: 0.002 µm - 2.4 µm
运行行程: 135 mm
传送速度: 10 mm/s - 50 mm/s

... 用于光学透镜、圆柱体定位的 X Phi 系统 可定制： - 圆形部件（如晶片、光学元件）光学测量的理想选择 - 通过高精度的行程旋转运动，节省了额外购买加载轴的费用 - 重复精度高达 0.0017 - 通过 X 精确移动 1.9 µm 至测量位置 该 X-Phi 定位系统由高精度、耐用的 PMT160 线性平台标准轴和 DTS130-HM ...

重复精度: 0.3 µm - 1.7 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 25 mm/s

... 用于检验和质量控制的 XYZ 系统 可定制： - 极高的跳动精度和重复精度，可达 0.3 µm - 使用经济高效的驱动装置，可定位高达 150 N 的负载 - 最高 50 mm/s 的高速度 - 将随机误差降至最低 - 易于集成，可与现有的摄像系统和传感器灵活组合 定位系统可沿三个线性轴定位。在该装置中，PMT160 ...

重复精度: 0.5 µm - 1.5 µm
运行行程: 50, 150, 300 mm
传送速度: 25 mm/s

... 用于实验室和晶片检测的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.5 微米 - 以 50 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 0.5 µm 的完美平面度，可定位最大 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - ...

重复精度: 0.4 µm - 2.2 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 1.12 mm/s - 25 mm/s

... XZ Labor- und Waferinspektion 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.4 µm - 在 50 mm/s 的相对较高定位速度下，步距最小，可靠性最高 - ± 1 的完美平面度，可定位 5 公斤以下的中等载荷 XZ 组合包括 PMT160 的高精度和耐用标准线性轴。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
运行行程: 50 mm
传送速度: 30 m/s

... 用于实验室检测的 XYZ 定位系统 可定制： - 是设置和扩展高精度测量技术的理想之选 - 重复性极高，可达 0.3 µm - 在最高速度达 50 mm/s 的情况下，步距最小，可靠性最高 - 在定位高达 150 N 的中等载荷时，平面度达到 ± 0.5 该 XYZ 组合包括 PMT160 的高精度耐用标准线性轴，这些轴通过适配器支架安装在 KLT310 xy ...