SmarAct纳米定位系统

重复精度: 50 nm
运行行程: 6, 11 mm

... SMARPOD 70.42 是最紧凑的 系统，底板直径仅为 70 毫米，重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动 系统，底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑，但它却是一个坚固耐用的精确 系统，可处理高达 5 N 的有效载荷，以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行 定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 20 mm

... 和 Y 方向的行程为 20 毫米。 SMARPOD 110.45 可 定位最大 5 N 的有效载荷，在 X 和 Y 方向的行程为 20 mm。SMARPOD 110.45 的底板可配备工具、组件或传感器的安装柱，使该 系统成为微型装配和任何其他涉及精确对准的应用的关键工具。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 42, 24 mm

... 方向的行程范围为 42 mm，在 Z 方向的行程范围为 24 mm。底板可选配安装柱，用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 规格 行程 [ - 24 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 30, 50, 10 mm

... SMARPOD P-SLC-17 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-17 的 X 方向行程更大，达到 50 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 规格 行程 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 62, 102, 17 mm

... SMARPOD P-SLC-24 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-24 的 X 方向行程更大，达到 102 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 规格 行程 ...

重复精度: 100 nm
运行行程: 17, 62, 330 mm

... P-CLL-CLS 在 Y 轴方向使用 CLS 定位器，在 X 轴方向使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合，P-CLL-CLS 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围，同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。SMARPOD P-CLL-CLS 完全配备了可更换驱动单元 (EDU)，可确保轻松快速地更换压电驱动装置，而无需完全拆卸 定位 系统。 旋转行程值以顶板表面的支点为基准。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...

... 卓越的表现 完全编码，分辨率为1 纳米 主动位置保持 大扫描范围和低热漂移 在30 x 30毫米的范围内进行大面积探测 高速EBAC/EBIC成像 高效和简单 一体化的用户界面 所有探针的自动着陆和对准 在SEM图像中的 "点&点击 "导航 分组移动和 "步骤&重复" 样品和探针的CAD导航 ...