Angstrom Sciences圆柱磁电管
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... Angstrom Sciences 的磁铁阵列还能提供更高的磁场强度,从而使用户能够以更低的功率运行溅射工艺,以达到典型的沉积速率。 从本质上讲, 圆柱形磁控 管可容纳的目标材料数量是具有相同空间面积的平面磁控 管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资,靶材利用率高达 85%。此外,在较低功率水平下运行通常可节省 20% 的功率。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 可在靶材寿命期间保持靶材表面的场强一致,这对 HIPIMS 工艺中减少电弧和优化溅射材料电离至关重要。 这些特点以及固体阳极结构使其在要求苛刻的应用中(如 HiPIMS 或任何大功率长时间运行的应用)具有一致的可重复性能。 HiPIMS 磁控 管直接冷却,有圆形、线形和 圆柱形设计。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... HRC / HLK、CVC、 圆柱形、MRC 和任何其他 OEM 阴极改装为我们获得专利的异型磁铁设计,从而为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。利用我们的设计和先进的建模能力,我们可以设计出性能更高的产品,提供更好的靶材利用率、更高的均匀性和更少的微粒污染。 Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控 管、高质量沉积材料和全面的技术支持,帮助客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。 我们随时准备确保您的满意。因此,我们为所有磁控 管提供业内最长的两年保修服务 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在,我们已经开发出一种方法,用我们获得专利的异型磁铁设计改装您现有的 圆柱形磁控 管--为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。 经济型解决方案 圆柱形磁铁改装具有上述所有优点,而成本仅为更换现有 圆柱形组件的三分之一。 -磁体完全封装在不锈钢中 > 高效水流 -高效水流 -与所有现有目标设计兼容 -无缝集成 -可调节的均匀性 -先进的转弯技术可产生更平整的侵蚀轮廓 -改进的沉积曲线减少了腔壁上的碎片堆积 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 高功率射频磁控溅射阴极可成功应用于研发和生产,前提是在结构上采用特定的设计标准。 圆形高功率射频磁控 管可直接冷却,外径为 2 英寸-8 英寸。 由于射频功率在高频率下运行,因此磁控溅射阴极的设计必须能够控制该功率。Angstrom Sciences 的高功率射频磁控 管设计用于在目标表面均匀传输射频能量,同时提供低反射功率和射频限制。 高功率射频磁控 管有圆形和线性两种配置。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 这意味着要安装两种截然不同的系统--一种用于实现低成本材料的最大产量,另一种用于实现贵金属和其他昂贵目标材料的高目标利用率。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控 管采用可插入式磁铁阵列设计,因此技术人员可以在单一系统上实现标准化,只需更换阵列即可优化性能结果。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控 管可根据工艺要求提供各种尺寸。 ...
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