Angstrom Sciences圆形磁电管
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... 型环压缩接头接入,便于在任何真空系统中安装。 圆形磁控 管源的目标直径从 1 英寸(25 毫米)到 16 英寸(406 毫米)或更大,可采用标准或定制配置。 小 圆形阴极上的专利螺纹靶夹和阳极屏蔽使您无需使用辅助工具即可更换靶。它们的内置可调节性还能让您在不使用任何间隔装置的情况下安装不同厚度的靶材。 ONYX® 磁控 管可在极低的压力下工作(低至 10-4 托范围),我们的直接冷却设计可提供高达 ...
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... 可在靶材寿命期间保持靶材表面的场强一致,这对 HIPIMS 工艺中减少电弧和优化溅射材料电离至关重要。 这些特点以及固体阳极结构使其在要求苛刻的应用中(如 HiPIMS 或任何大功率长时间运行的应用)具有一致的可重复性能。 HiPIMS 磁控 管直接冷却,有 圆形、线形和 圆柱形设计。 ...
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... 旋转磁控 管是 圆形磁控 管的变体,其中的磁铁组围绕中心轴进行机械 旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的,能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况;在 旋转磁控 管中,整个靶面都会被转速在 ...
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... 间接冷却磁控 管在 圆形阴极冷却水和溅射靶之间有一个中间壁。这种中间壁可形成永久性的水-真空密封,防止靶材被 "溅射穿 "而发生泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸(25 毫米至 100 毫米)间接冷却式 圆形磁控 管采用螺纹式靶夹和阳极屏蔽,可调节以适应不同厚度的溅射靶。螺纹设计上的靶件更换快捷方便,无需辅助工具或装置。 此外,螺纹式靶夹和阳极罩还能形成一个紧凑的 圆形磁控 管头。这样,Angstrom ...
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... 对于需要基片长时间暴露在高热环境中的应用,Angstrom Sciences 的高温 圆形磁控 管采用陶瓷绝缘体和真空密封进行了优化,使阴极能够在高热条件下保持性能参数。高温设计可在 200、300 和 450 摄氏度下运行。 高温 圆形磁控 管专为 10-9mTorr 范围内的基本压力而设计,并经过专门设计,可在整个热循环过程中承受可能出现的变化,而不会出现泄漏或薄膜质量偏差。 ...
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... 高功率射频磁控溅射阴极可成功应用于研发和生产,前提是在结构上采用特定的设计标准。 圆形高功率射频磁控 管可直接冷却,外径为 2 英寸-8 英寸。 由于射频功率在高频率下运行,因此磁控溅射阴极的设计必须能够控制该功率。Angstrom Sciences 的高功率射频磁控 管设计用于在目标表面均匀传输射频能量,同时提供低反射功率和射频限制。 高功率射频磁控 管有 圆形和线性两种配置。 ...
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