产品概述INNOVACERA 提供用于 INFICON MPG400 / MPG401 冷阴极真空计维修与翻新的高精度阳极组件。该组件采用高纯度氧化铝陶瓷绝缘、精密金属化与真空钎焊工艺,确保高压绝缘、真空兼容性及稳定的电气性能。
技术特性- 为高压真空环境设计
- 电极精密对准,确保稳定电离
- 适用于 2–4 kV DC 的高压绝缘
- 真空兼容材料,低逸气
- 通过金属化与真空钎焊实现陶瓷-金属气密封接
- 电气特性稳定,维护周期长
- 精密同心度控制以维持场对称性
阳极组件重要性阳极组件是冷阴极真空计中控制电场与放电行为的关键部件。在 2–4 kV DC 工作条件下形成电离区;精密对准与稳定绝缘会直接影响测量精度、稳定性及仪表可靠性。
应用技术规格- 兼容型号:INFICON MPG400 / MPG401
- 耐压:2–4 kV DC
- 泄漏率:<1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
- 接合工艺:陶瓷金属化 + 真空钎焊
- 工作环境:高真空;电子/离子轰击条件
- 同轴精度:≤0.5 mm
材料与结构- 材料:高纯度氧化铝陶瓷绝缘
- 接合:精密金属化与真空钎焊,形成陶瓷-金属气密封接
- 性能:电气性能稳定、使用寿命长、精密同心度控制