概述陶瓷‑金属与玻璃‑陶瓷‑金属多针穿透器为两导体或多导体的密封电气穿透器,设计用于将仪表信号、电压和/或电流传入高真空及超高真空环境。多数设计接受大气侧插头;部分结构可接受真空侧插头。
应用- 半导体加工设备
- 分析测试与测量设备
- 压力换能器与传感器
- 发电测量与控制技术
- 粒子加速器与科研设施
- 工业及实验室炉
- 能源研究装置
材料与装配接头采用高纯度、真空兼容材料制造。绝缘体为高强度氧化铝陶瓷(94%–99% Al2O3),通过耐火金属烧结工艺进行金属化。金属部件包括 Kovar®、不锈钢、镍‑铁合金、铜镍合金、钼和 Alumel®。组件采用铜、金‑铜或银‑铜合金进行钎焊以保证密封性。
陶瓷‑金属 密封材料:陶瓷绝缘体 |
金属 |
焊料 / 钎料94%–99% Al2O3 | Kovar | 铜
| 不锈钢 | 金‑铜
| 镍‑铁合金 | 银‑铜
| 铜‑镍合金 |
| 钼 |
优点- 经漏率测试至 1×10‑10 mbar·L/s He 的气密密封
- 高电压能力(>12 kV DC)
- 大电流能力(每针可达 40 A)
- 可在高真空与 UHV 环境中工作
- 工作温度范围:从低温 −250°C 到 +450°C
- 符合 RoHS 要求
- 可按应用要求提供定制设计
技术规格- 产品类型:陶瓷‑金属与玻璃‑陶瓷‑金属多针穿透器(两导体或以上)
- 典型陶瓷绝缘体:94%–99% Al2O3(氧化铝)
- 金属:Kovar®、不锈钢、镍‑铁合金、铜镍合金、钼、Alumel®
- 钎焊合金:铜、金‑铜、银‑铜
- 电气:>12 kV DC 耐压;每针电流额定值可达 40 A
- 真空性能:适用于高真空与超高真空;气密性测试至 1×10‑10 mbar·L/s He
- 温度范围:−250°C 至 +450°C
- 合规性:符合 RoHS
- 典型用途:将仪表信号、电压与电流传输至真空系统;接受大气侧插头(部分设计接受真空侧插头)