真空穿墙套管

多通道单通道气密封闭

概述 KF40 BNC 真空电气穿墙件是一种紧凑型电气引入件，用于将 BNC 同轴信号从大气侧可靠地引入真空腔体内部。适用于对信号完整性、低泄漏和真空兼容性有要求的高真空与超高真空系统。典型应用包括科研、半导体加工、真空电子学与分析仪器等。

主要结构与配置选项

• 导体/接点数量
  • 单通道（1–2 接点）：适用于单路同轴信号或控制信号
  • 多通道（如 4×BNC）：在单个 KF40 法兰上集成多个独立 BNC 接口，实现多信号紧凑传输
• 阻抗匹配
  • 50 Ω 匹配型：用于射频与高频信号，减少反射与失真
  • 非匹配型：适用于直流或低频控制及电源导入
• 屏蔽与接地方式
  • 接地屏蔽：同轴屏蔽层与法兰直接电气连接并接地以抑制电磁干扰
  • 悬浮屏蔽：屏蔽层与法兰电气隔离，适用于对接地或电位差敏感的电路
• 接口位置形式
  • 单侧出线（大气侧 BNC）：大气侧为标准 BNC，真空侧为引脚或焊接端子以便内部接线
  • 双侧出线（双侧均为 BNC）：大气侧与真空侧均为 BNC，便于模块化安装与快速连接

技术参数

• 额定电压：≤ 500 V DC
• 额定电流：每接点约 3 A
• 泄漏率：≤ 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
• 最大烘烤温度：150 °C（可根据设计调整）
• 法兰标准：ISO‑KF40

材料与工艺

• 法兰/本体：304 / 304L 不锈钢
• 绝缘体：高纯度氧化铝陶瓷
• 密封工艺：金属‑陶瓷真空钎焊

应用

• 高真空与超高真空系统
• 射频信号引入与仪器模块
• 半导体加工设备
• 分析仪器（质谱仪、电子显微镜）
• 真空实验与科研装置

特点 / 技术规格

• 额定电压：≤ 500 V DC
• 额定电流：每接点约 3 A
• 泄漏率：≤ 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
• 最大烘烤温度：150 °C（视设计而定）
• 法兰标准：ISO‑KF40
• 材料：304 / 304L 不锈钢；高纯度氧化铝绝缘体
• 密封：金属‑陶瓷钎焊
• 阻抗选项：50 Ω 或 非匹配
• 屏蔽选项：接地屏蔽或悬浮屏蔽
• 配置：单通道（1–2 接点）或多通道（如 4×BNC）