数据连接器

供电直流大电流

概述
陶瓷‑金属和玻璃陶瓷‑金属多针穿透器（多针 feedthrough）用于向高真空和超高真空（UHV）环境引入密封的电气与仪表连接。产品设计用于与外部插头在线配合，部分型号支持大气侧与真空侧插头，便于安装与维护。

应用

• 半导体加工设备
• 分析测试与测量仪器
• 压力变送器与传感器
• 发电测量与控制系统
• 粒子加速器
• 高温炉
• 能源研究机构

材料与结构
插座采用高纯度、真空兼容材料制造。绝缘体采用高强度、低损耗氧化铝陶瓷（94%–99% Al2O3），通过耐火金属烧结工艺金属化。结构件与配合件材料包括 Kovar®、不锈钢、镍‑铁合金、铜镍合金、钼及 Alumel®。组件采用铜、金‑铜或银‑铜合金进行钎焊以确保密封性。

陶瓷‑金属 密封材料

• 94%–99% Al2O3 — Kovar — 铜钎料
• 94%–99% Al2O3 — 不锈钢 — 金‑铜钎料
• 94%–99% Al2O3 — 镍‑铁合金 — 银‑铜钎料
• 94%–99% Al2O3 — 铜‑镍合金 — （钎焊选项）
• 94%–99% Al2O3 — 钼 — （直接密封选项）

优点

• 适用于高真空与 UHV 应用的气密封性
• 高电压能力 >12 kV 直流
• 每针最高 40 A 的大电流能力
• 氦泄漏测试至 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s
• 工作温度范围 −250°C 至 +450°C
• 在适用情况下符合 RoHS 要求
• 可按应用定制设计

技术参数

• 产品类型：陶瓷‑金属及玻璃陶瓷‑金属多针穿透器（2 个或以上导体）
• 典型陶瓷：94%–99% Al2O3（氧化铝）
• 使用金属：Kovar®、不锈钢、镍‑铁合金、铜‑镍合金、钼、Alumel®
• 钎料/钎焊材料：铜、金‑铜、银‑铜合金
• 电气：电压 >12 kV 直流；电流 每针最高 40 A
• 真空性能：气密；泄漏测试至 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He；适用于 HV 与 UHV
• 温度范围：−250°C 至 +450°C
• 合规性：在适用情况下符合 RoHS
• 定制：可根据仪表与穿透器要求提供定制设计