Innovacera的四极质谱过滤器,简称为四极,是四极质谱仪的核心组件。它通常由四根平行的圆柱形或双曲线形金属棒组成。应用了两对电极:直流电压(DC,U)和射频电压(RF,V·cos(ωt))。四极质谱分析仪根据离子在振荡电场中的轨迹稳定性分离离子。
结构参数表:
- 材料选项:镀金陶瓷/不锈钢/钼
- 棒直径:2-16mm
- 棒长度:100-300mm
- 基座:氧化铝陶瓷/可加工玻璃陶瓷
- 综合精度:≤3μm
99%氧化铝陶瓷材料特性:
- 颜色:象牙色
- 主要特性:优异的等离子体耐腐蚀性,高耐磨性。
- 应用领域:半导体设备组件,耐磨和耐腐蚀部件。
- 密度:3.88 g/cm3
- 吸水率:0%
- 维氏硬度:17 HV
- 抗弯强度:350 MPa
- 抗压强度:2450 MPa
- 杨氏模量:350 GPa
- 泊松比:0.22
- 断裂韧性:4-5 MPa·m1/2
- 线膨胀系数(40-400°C):8.2 x10-6/°C
- 热导率(20°C):25-30 W/(m·k)
- 比热:0.8 J/(kg·k)x103
- 体积电阻率(20°C):>1015 Ω·cm
- 介电强度:20 KV/mm
- 介电常数:9.2
- 介电损耗系数:2 x10-4
- 硝酸(HNO3)(90°C)重量损失:1015 Ω·cm,介电强度20 KV/mm,介电常数9.2,介电损耗系数2 x10-4,最大使用温度1500°C