冷阴极真空计

电离作用热阴极

概述
INNOVACERA高真空电离计用于实验室、工业与科研的真空度测量。该仪器在专用电离室内对气体分子进行电离，并测量由此产生的离子/电子电流以确定气体密度和真空度。根据应用和压力范围可选择热阴极、冷阴极或放射性源等类型。

工作原理
电离计由电离室和电子/离子收集器组成。进入电离室的气体分子通过加热丝、电子束或其它电离源被电离。正离子（或电子，视设计而定）在电场作用下被收集，产生与气体分子密度成比例的可测电流。测得电流增加表示气体密度升高（真空度降低）；电流减小表示气体密度降低（真空度提高）。

测量范围

• 在极低压测量时使用高电压与大体积电离室
• 在较高压测量时使用低电压与小体积电离室

额定测量范围：0.1 ~ 10^-8 Pa

技术规格

• 产品类型：高真空电离计
• 制造商：INNOVACERA
• 测量原理：在电离室内对气体分子电离并收集带电粒子；测量与气体密度成比例的电流
• 典型电离方式：热阴极（加热丝）、冷阴极、电子束、放射性源（视型号而定）
• 推荐操作：极低压使用高电压+大体积电离室；较高压使用低电压+小体积电离室
• 额定测量范围：0.1 ~ 10^-8 Pa

应用

• 实验室真空系统与科研场所
• 工业真空工艺：薄膜沉积、半导体加工、表面处理
• 真空计量与校准实验室

安装与维护
将电离计安装在兼容的真空法兰上，配备合适的电气穿透器和接地。保持清洁以避免电离室污染。定期与参考仪器进行校准。按制造商说明更换加热丝或放射源，并对放射性类型遵循安全规定。