霍尔测试系统 DX-300

载流子浓度电阻率实验室

DX-300自动霍尔效应测试系统是一款电磁式全自动测量平台，用于半导体与导电材料的表征，通过自动化Van der Pauw/Hall测量和数据分析获取电学与磁输运参数。

主要特点

• 自动计算实验结果：体载流子浓度、表面载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、磁阻等。
• 集成硬件：电磁铁及电源、高精度恒流源、高精度电压表、System SourceMeter、矩阵卡、霍尔样品夹、3D微探针台、视频显微镜、标准样品。
• 一键自动测量与自动Van der Pauw切换（内置四相矩阵卡），支持无人值守和可重复循环测试。
• 上位机软件：样品参数设置、I‑V与B‑V曲线、模块化设计、可选变温测试、数据保存及导出Excel。

系统组成 / 配置摘要

• DXSBV-100电磁铁（垂直磁场）
• DX-320 System SourceMeter（源/测量仪）
• DX-150高斯计
• DX-F2030高精度线性恒流电源
• 三维微位移平台＋钨钢镀金压针（多规格）
• 视频显微镜（4K HD摄像头＋显示屏）及HD摄像头
• 探针支架、串口线、电源线、配件盒（含欧姆接触套件）、系统软件与手册、笔记本电脑及标准机柜。

组件介绍（亮点）

• 电磁铁（DXSBV-100）：双轭式垂直结构，可调气隙0–55 mm；极面直径约95–100 mm；20 mm气隙中心磁场≥1 T；自然冷却；在1 T工作30 min后线圈表面升温<40°C；需约1.0 kW直流供电；整机重量约300 kg。
• 恒流电源（DX-F2030）：有效输出0–100 V DC（开路约120 V ±8 V @10 A）；输出电流−10 A至+10 A；高分辨率与高稳定性；支持RS-232极性切换与自动化；具备过温、过流、过功率保护。
• System SourceMeter（DX-320）：电流输出分辨率0.0001 µA，电流范围50.00 nA–50.00 mA，测量电压0–±3 V；内置自动Van der Pauw矩阵卡以实现自动化测量。
• 3D微位移平台＋压针：探针夹数4；调整精度10 µm；适用探针直径≤1 mm；探针尖端可选5 µm、20 µm、50 µm；钨钢镀金针。
• 视频显微镜：4K HD摄像头＋24英寸显示屏，放大倍数21–135×，HDMI输出，内置LED照明，具备测量与拍照功能。

可测试材料与适用范围

• 半导体材料：SiGe、SiC、InAs、InGaAs、InP、AlGaAs、HgCdTe、铁氧体材料等。
• 低电阻材料：石墨烯、金属、透明氧化物、弱磁半导体、TMR材料等。
• 高电阻材料：半绝缘GaAs、GaN、CdTe等。
• 导电类型：支持p型和n型测试。

磁场环境（摘要）

• 磁体类型：可变磁场电磁铁（可定制尺寸）。
• 按极间距举例的中心磁场：1070 mT（20 mm）、678 mT（30 mm）、500 mT（40 mm）、378 mT（50 mm）、293 mT（60 mm）。
• 霍尔测试磁场：20 mm极间中心场优于1 T。
• 均匀区：约1%。
• 磁场稳定性：在5000 Gs条件下，24小时波动小于0.3 Gs。

电学测量参数（摘要）

• 电流源范围：50.00 nA – 50.00 mA。
• 电流分辨率：0.0001 µA。
• 测量电压：0 – ±3 V。
• 电压分辨率：0.0001 mV。

其他附件与测试台

• 支持样品尺寸：最大可达6英寸。
• 机柜示例尺寸：600 × 600 × 1000 mm。
• 测试片：随附霍尔效应标准样品（Si、ITO、GaAs）用于校验。
• 欧姆接触制作工具：烙铁、铟片/铟箔、焊料、漆包线等。

特性 / 技术规格

• 载流子浓度范围：约10^3 cm⁻³ – 10^23 cm⁻³。
• 迁移率范围：约0.1 cm²/(V·s) – 10^8 cm²/(V·s)。
• 电阻率范围：10⁻5 Ω·cm – 10^7 Ω·cm。
• 霍尔电压测量范围：0.01 µV – ±3 V。
• 霍尔系数范围：10⁻5 – 10^27 cm³/C。
• 测试方法：Van der Pauw法进行霍尔测量。
• 重复性：3次测量重复性<3%（厂家提供相应测试样品）。
• 样品操作：磁架上固定的样品台上的四探针压接，保证可重复定位。