电阻测量系统 DX-9000 series
电阻率霍尔效应导电性
产品规格型号
- 物理量
- 电阻率, 电阻, 霍尔效应
- 所用技术
- 磁性, 导电性
- 运行方式
- 自动化
- 所测量的产品
- 用于半导体, 磁致伸缩材料
- 应用
- 工业用途, 实验室, 成分测试
- 其他特性
- 可配置
产品介绍
概述- DX-9000系列是一套全自动电输运特性测量系统,用于表征霍尔效应、磁阻(R–H)、温度相关电阻(R–T)和I–V特性。系统集成高精度测量仪器(例如 Keithley)、可选磁场源(电磁铁或无液氦超导磁体)、可配置样品夹具及自动化测试软件,以实现可重复测量。
功能- 测量霍尔效应、R–H 特性(电阻随磁场变化)、R–T 特性(电阻随温度变化)及 I–V 特性(电阻率)。
- 导出参数:片电阻、体电阻率、霍尔系数、霍尔迁移率、载流子浓度和导电类型。
- 生成特征输出:温度或磁场相关参数曲线;不同磁场与温度下的 I–V 曲线;用于分析与报告的 R–H 与 R–T 绘图。
主要特性- 电阻率、霍尔系数和霍尔迁移率的测量符合 ASTM‑F76 标准。
- 根据配置覆盖宽广的电阻与电阻率测量范围(从超低约100 nΩ至特定配置下高达100 GΩ 的高阻)。
- 插拔式样品卡并配有四探针卡,简化样品安装并减少电极准备时间。
- 标准配置可同时测量两块样品;可选扩展支持四块样品。
- 通过专用软件实现自动化测量与计算;典型霍尔效应数据集约可在3分钟内获得。
- 磁场高度稳定(24小时稳定性 < ±0.5 G),零点平滑穿越;电磁铁电源内置高斯计并支持微调(0.1 G 分辨率;例如 0→1 kG 约 20 s 上升)。
- 可选温控方案支持在宽温区间内进行霍尔与电阻测量。
可用配置与关键能力- 标准系统(型号):DX-9003、DX-9005、DX-9007 — 迁移率最高约 1×10^5 cm^2/Vs;载流子浓度范围约 6×10^12 至 6×10^21 cm^-3;电阻率范围 5×10^-7 至 5×10^2 Ω·cm。
- 高灵敏度系统(型号):DX-9003HS、DX-9005HS、DX-9007HS — 迁移率最高约 1×10^6 cm^2/Vs;载流子浓度可达 ~6×10^23 cm^-3;电阻率可达 ~5×10^-9 Ω·cm。
- 高电阻系统(型号):DX-9003HR、DX-9005HR、DX-9007HR — 载流子浓度下限约 6×10^8 cm^-3,范围可达 ~6×10^23 cm^-3;电阻率上限约 5×10^6 Ω·cm;电阻测量上限达 10 GΩ。
- 温度环境选项:单点液氮箱(77 K);液氮恒温箱(标准 80–325 K;高温 80–500 K);循环式低温恒温器(4 K–325 K 或 10 K–325 K);高温炉(325 K–1000 K)。
- 磁场环境:室温电磁铁(示例:1 T @10 mm、2.4 T @10 mm、2.6 T @10 mm,视型号而定);可变温度低温系统(示例:LN2 状态 0.44 T 至 2.0 T,视型号而定;闭循环制冷机 0.26–1.5 T,随类型不同)。
- 可选组件:无液氦超导低温平台(CFMS 系列,5 T–18 T,1.6 K–400 K)、光学选项(偏振头杆、带光路的遮光箱)、旋转机构、真空泵、循环水冷单元及其他温度/磁场选项。
技术规格- 系列 / 型号:DX-9000 系列(Standard、HS、HR 变体:DX-9003/9005/9007;DX-9003HS/9005HS/9007HS;DX-9003HR/9005HR/9007HR)。
- 测量特性:霍尔效应、磁阻(R–H)、温度依赖电阻(R–T)、I–V 特性。
- 导出参数:片电阻、电阻率、霍尔系数、霍尔迁移率、载流子浓度、导电类型。
- 电阻测量范围(按配置):Standard ≈ 10 mΩ – 10 MΩ;高灵敏 ≈ 0.1 mΩ – 10 mΩ(低阻选项 100 nΩ – 10 mΩ);高电阻 0.1 mΩ – 10 GΩ。
- 电流源能力:Standard/HS ±50 pA – ±1.05 A(示例:±1.05 A @ ±21 V,±105 mA @ ±210 V);HR ±0.1 pA – ±0.1 A;测量分辨率:HS/Standard 可达 10 pA / HR 可达 10 fA。
- 电压源 / 测量:范围与分辨率示例:Standard 最小分辨率 0.1 μV(±0.1 μV – ±200 V);HS ±1 nV – ±100 V;HR ±1 nV – ±100 V。
- 电阻率测量范围:Standard 5×10^-7 – 5×10^2 Ω·cm;HS 5×10^-9 – 5×10^2 Ω·cm;HR 5×10^-9 – 5×10^6 Ω·cm。
- 迁移率范围:Standard 最多约 1×10^5 cm^2/Vs;HS/HR 最多约 1×10^6 cm^2/Vs(视型号而定)。
- 载流子浓度范围:Standard ≈ 6×10^12 – 6×10^21 cm^-3;HS 可达 ~6×10^23 cm^-3;HR 从 ~6×10^8 – 6×10^23 cm^-3(视型号而定)。
- 磁场稳定性:24 小时稳定性 < ±0.5 G;内置高斯计及微调;零点穿越平滑。
- 最大样品尺寸(示例按变体):10 × 10 × 3 mm;30 × 30 × 3 mm;50 × 50 × 3 mm。
- 同时测量样品数量:Standard 2(可扩展至 4);HS/HR 高灵敏/高电阻配置通常为单样品。
- 安装占地示例:2 m × 1.5 m;5 m × 2 m(取决于配置)。
- 测试精度说明:在所述假设下(样品厚度 100 nm、磁场 10 000 Gauss、修正系数 1):电阻测试精度约 2%;电阻率、霍尔系数、载流子浓度和迁移率约 5%。
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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。