Panasonic MD-P300 倒装芯片键合机工艺灵活,将倒装芯片、热声波和热压焊接结合在一个单一的小尺寸解决方案中。
灵活的键合工具可直接从热声波工艺转换到 C4 工艺,再转换到 TCB 工艺。它还支持 300 毫米(12 英寸)晶圆基板。MD-P300 是使用在线 Panasonic SMT 贴片机进行 COB 混合装配的理想解决方案。
循环时间快,贴装精度达 +/-5μm,每个 IC 0.5 秒(干运行)--热固性和 C4 工艺 0.65 秒(包括工艺时间)。
- 实时检测可实现更高的制造精度
- 工艺多样性
- 处理器、CMOS 和 MEMS 功率器件的理想选择
- 通过切换键合工具可实现键合工艺,这可在 C4 浸渍单元配置下完成
- 键合平台摄像头可在芯片键合后立即进行键合后检测。(OP)
贴装精度
XY(3 在 PFSC 条件下):±5 µm
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基底尺寸(毫米)
长 50 × 宽 50 至长 330 × 宽 330(加热规格:长 330 × 宽 220 毫米)
模具尺寸(毫米)
长 1 × 宽 1 至长 25 × 宽 25 (热声:长 7 × 宽 7)
模具类型数量
最多 12 种产品类型(AWC 规格)
*1 个喷嘴类型
晶粒供应
晶片框架 12 英寸(可选:8 英寸)
接合负载
VCM 磁头:1N 至 50 N(可选:2 N 至 100 N)
焊头加热
热声波:高达 300℃
基片加热
持续加热,最高 200℃(加热键合台规格:最大基板尺寸长 330 × 宽 220 毫米)
[*2]
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