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SMT取板放板机
NUCLEUS
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产品规格型号
应用
SMT
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产品介绍
概述
NUCLEUS是一款面向2.5D、Fan-out和嵌入式封装工艺的多用途精密贴装设备。支持正面/背面作业,并配备局部与全局对准,实现高精度元件放置。
应用场景
Fan-out晶圆级封装(FOWLP)和嵌入式芯片集成
翻转芯片(Flip-chip)和直接芯片粘附工艺,包括浸 flux 操作
可直接处理裸晶圆基板、载台上的晶圆或基板
适用于高粘合力和热工艺的粘接应用
主要特点
局部与全局对准,支持亚微米级放置精度
支持正面(face-up)和背面(face-down)两种作业模式,适应不同装配流程
可直接处理裸芯片与裸晶圆,兼容载台
自动换刀系统,支持多芯片粘接与快速换型
支持高粘合力工艺并具备集成热工艺控制
支持浸 flux 选项以满足直接芯片粘接与翻转芯片需求
粘接过程符合 Class 100 清洁度标准,适用于对污染敏感的工艺
面向市场的其他配置
NUCLEUS XD:超大芯片处理能力,支持至 70 mm × 70 mm
NUCLEUS XLplus:超大基板处理能力,支持至 600 mm × 670 mm
技术规格
适用于2.5D、Fan-out与嵌入式应用的多用途精密贴装设备
作业模式:正面与背面
对准:局部与全局对准系统
工艺支持:翻转芯片、直接芯片粘接(含浸 flux)、高粘合力与热粘接工艺
处理对象:裸晶圆基板、载台上晶圆、载台上基板
自动化:用于多芯片粘接的自动换刀系统
清洁度:粘接过程中符合 Class 100 标准
可选大幅面配置:NUCLEUS XD(≤ 70 mm × 70 mm 芯片)、NUCLEUS XLplus(≤ 600 mm × 670 mm 基板)
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