STEINMEYER多轴定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 用于高动态应用的XYZ龙门架 可定制的 - 高精度和动态应用的理想选择 - 1300 x 800 mm的超大行程范围 - 高加速度和速度与高精度相结合 这种龙门架可以在1300 x 800毫米的范围内实现高动态运动。Z轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、平稳地移动。异型导轨直接安装在花岗岩上，提供最佳的运行特性，以实现巨大的可重复的亚微米结果。 规格 - 行程：800 x 1300 x 200 mm - 重复性：1 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴，每个轴用于扫描器/显微镜，最大重量为25公斤 - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 0.001 µm - 4.4 µm
运行行程: 1.5 mm - 100 mm
传送速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... 理想的切向扫描，提供多种调节选项 - 校正倾斜和横向偏移达 0.5 µm - 光束线孔径为 45 毫米 - 气浮旋转平台，精度可达 0.0005° 该定位系统可在 6 个自由度内进行切向扫描，具有极高的重复性。样品支架可调节焦距、角度和距离，位于带孔径的 XYZ phi 三角形对准器上，可在 4 个轴上校正倾斜和横向偏移。 规格 - 标准系统：DT250 ...

载荷: 0 g - 2,000 g
运行行程: 3 mm - 4 mm
传送速度: 0.4 mm/s - 5 mm/s

... 微型 Z-Phi 三角定位系统，三脚架 作为 MP200-5 型对中仪的补充，该对中仪具有三个自由度。它的内部由三个垂直作用的精密轴组成，这些轴通过实体连接件与可移动的载荷板相连。因此，载荷板可以在两个轴上倾斜，也可以调节高度。 由于通常只需对齐工件即可，因此垂直调整可用于补偿不同高度的镜片封装，尤其是在光学装配中。此外，还可以通过该机械手和交叉透光工作台或交叉工作台实现 ...

重复精度: 0.001 µm - 0.7 µm
载荷: 500 kg
运行行程: 10 mm - 10 mm

... MP53-2-1 微型 XY-Phi 定位系统 带压电电机的 Phi-XY 系统 用于 xy 移动和旋转的小型机械手。线性行程为 10 毫米，旋转角度为 ± 5 度。通过压电驱动，在 nm 范围内具有极高的分辨率。旋转由一个线性平台通过弹性联轴器作用于一个旋转轴承实现。 用于校准部件的固定接头 三轴系统用于对准零件和样品。由于只需几毫米或几度的微小路径就足以实现这种校正运动，因此，如果线性平台通过固态接头将其运动传递给原本被动的旋转平台，就可以产生旋转运动。这种固态连接的优点是可以将线性平台的精度完全转移到旋转平台上 ...

重复精度: 0.001 µm - 3.5 µm
载荷: 6.5 kg
运行行程: 4 mm - 20 mm

... 6 轴微型 XYZ-Theta-Phi-Delta 定位系统（ISO 5 级无尘室） 可定制： - 自动检测晶圆和光学器件的理想选择，检测范围可达 300 毫米/12 英寸 - 重复精度高达 ± 2.5 µm 或 ± 0.005° - 出色的精度、刚性和紧凑性，尺寸为 520 x 600 x 155 毫米 - 设计用于三班制操作，洁净室等级可达 ISO 5 6 ...