线性位移台 LA80 series

机动单轴高精度

高速线性平台 HV / UHV / EUV，200 -500毫米行程，0.4微米重复精度，5公斤负载 - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液体可达10E-8 / 干的可达10E-11 mbar - 尽管是干式润滑，寿命仍在千米范围内 - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 可选择配置。 - 可选择带或不带测量系统 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 可与快速XYZ传输系统相结合（如LA90、LA95、LA170）。 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的型号（根据要求可达到1级）。 - 可与控制器FMC400/450一起使用 尽管是干运行，但使用寿命长 该直线轴被用作多轴系统和高动态传输系统的强大组件。它能在超高真空中以极高的分辨率进行快速定位，甚至在垂直方向上也是如此。一个滚珠丝杠确保了高刚度和高速下的静止稳定性。该系统不需要液体润滑剂，其使用寿命仍可达到数千米。 应用的领域 极端紫外线辐射下的超高真空中的高精度传输系统、半导体制造、曝光过程的光束整形、表面分析和传感器定位、质谱分析、OLED镀膜过程、层厚度测量和层速率测量、表面涂层（溅射、气相沉积）、光束出口、实验设置、用于调查接近原始状态样品的传感器阵列