适用真空纳米定位平台 LA97 series

线性压电单轴

LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选控制器FMC400/450 水平和垂直纳米定位 该真空直线轴适用于所有HV/UHV范围，最高可达10-11mbar。它是普遍适用的，因为它也可用于垂直定位任务。它在真空中实现了极高的分辨率和最高的刚度。根据所要移动的负载，可以使用2至6个电机进行钳形排列。 应用的领域 高精度扫描应用，微组装，超高真空和紫外线辐射下的半导体技术，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检查。