立式定位台 HDT255 series

机动精准用于重载荷

- 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。 - 可作为磁性版本 可选择配置。 - 带或不带孔径 - 不同的行程 - 可选择带或不带测量系统 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行个别调整 - 可选择带控制器FMC400/450 用于高负荷的精确升降台 带孔的升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动，如在高真空、超高真空和极端紫外线辐射下。由于它的升降楔形原理，尽管它的总高度只有125毫米，却能实现其参数。步进电机和精确的滚珠丝杠（可选择滑动丝杠）的组合，允许在相对较高的负载下实现最小的步长。 应用范围 应用的领域 在超高真空和极端紫外线辐射下的工业和研究中的精密定位，晶圆、探针卡和印刷电路板的对准和检查，表面分析，层厚测量，相机对准，材料研究，材料分析，检查，真空中的显微镜，光束线，加速器，同步辐射