高精度位移台 HT160 series
立式机动交叉滚子

高精度位移台
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产品规格型号

方向定位
立式
类型
机动
其他特性
高精度, 适用真空, 工业, 用于重载荷, 不锈钢, 带内置步进电动机, 带控制器, 用于晶圆操作, 滚珠丝杠, 交叉滚子
运行行程

16 mm
(0.63 in)

速度

1.1 mm/s

产品介绍

- 真空:所有范围HV / UHV / EUV,最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 - 根据ISO 14644-1,洁净室等级为4级 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据室内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本(根据要求可达到1级)。 - 可选择带控制器FMC400/450 用于高负荷的精确升降台 该升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动,如高真空、超高真空。由于它的升降楔形原理,尽管它的总高度很低,但还是达到了它的参数。齿轮马达和精确的滚珠丝杠的组合,可选导螺杆,在相对较高的负载下实现最小的步长。 应用范围 超高真空和极紫外辐射下的工业和研究领域的精密定位,晶圆对准,相机对准,材料研究,材料分析,真空显微镜,光束线,加速器,同步加速器

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PDF产品目录

* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。