适用真空位移台 LA170 seriesXYZ轴机动多轴
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产品规格型号
- 方向定位
- XYZ轴
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 多轴
- 其他特性
- 高精度, 适用真空, 用于显微镜, 用于重载荷, 带内置步进电动机, 带控制器, 用于晶圆操作, 交叉滚子
- 运行行程
60 mm, 130 mm
(2.362 in, 5.118 in)- 速度
5 mm/s
- 重复精度
最多: 4 µm
最少: 0.5 µm
产品介绍
- 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar
- 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar
- 最大。烘烤温度。120°C
- 可作为磁性版本
可选择配置。
- 材料选择和真空润滑适合于应用
- 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置
- 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。
- 可选择带控制器FMC400/450
它被用作多轴系统以及同时扫描多个样品的强大组件。它可以在超高真空下实现高负荷的高度精确定位，甚至在垂直方向。
应用范围
多轴系统的设置，过程自动化，三维扫描，样品扫描，成像系统的定位，显微镜，样品分析，半导体检测，生物技术和半导体技术的质量保证，研究，光束线，加速器，同步辐射
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