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浓度监控系统
CS-100
测量
化学
紧凑型
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产品规格型号
类型
浓度
应用
测量, 化学
配置
紧凑型
其他特性
实时, 自动, 独立
产品介绍
CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。除高速响应和紧凑设计等特点外,浓度计还可实时测量每种组分的浓度,通过报警提醒化学药液变化和自动供应的时间。具备执行短周期测量的能力,可准确检测浓度变化。 实时跟进浓度信息 全自动测量 顺序测量期间采取综合措施消除气泡影响 采用 24V 直流电源,具有更高的安全保障 重量轻,设计紧凑 更高的产能 符合 RoHS 标准
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Semiconductor Analyzers for Wet Process
16 页
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