浓度测量表 CS-900F

半导体式非接触式用于光纤

产品概述
用于半导体工艺药液的非接触、稳定浓度测量。CS-900F 采用安装于管路上的光纤式非接触测量单元，最大限度降低药液泄漏和污染风险。支持更广范围的湿法工艺药液，并能在无需预处理的情况下直接测量最高80°C的高温溶液，作为CS系列旗舰型号提升了运行稳定性和适用性。

主要特点

• 紧凑设计且测量稳定：光纤电缆的引入使设备内安装的测量单元体积较以往机型约减少60%，降低了对外界干扰的敏感性。
• 可测药液范围扩大：波长范围较以往机型约扩大3倍，可测的工艺药液种类更多；支持最高80°C的直接测量，有助于更安全的运行。
• 非接触测量带来安全与工艺优化：测量单元安装于管路，减少泄漏和污染风险，有助于降低药液消耗。
• 接口与功能：24 V DC 电源、传输输出、接点输出、RS-232C 通信；支持多组分测量和温度补偿的多变量分析。

规格
产品名称：光纤式非接触化学浓度监测仪
型号：CS-900F
测量原理：吸收光谱法
计算方法：带温度补偿的多变量分析

测量范围与重复性（质量%）

• 型号：CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA
  组分：NH3 — 测量范围：0.00 至 1.20 — 重复性：±0.05 — 模拟输出范围：0.00 至 10.00
  组分：H2O2 — 测量范围：0.00 至 5.50 — 重复性：±0.10 — 模拟输出范围：0.00 至 10.00
  组分：H2O — 测量范围：93.3 至 100.0 — 重复性：±1.0 — 模拟输出范围：—
• 型号：CS-900F-1-1-1P-P8P8-11
  组分：NH3 — 测量范围：0.00 至 0.80 — 重复性：±0.03 — 模拟输出范围：0.00 至 1.00
  组分：H2O2 — 测量范围：0.00 至 0.80 — 重复性：±0.03 — 模拟输出范围：0.00 至 1.00
  组分：H2O — 测量范围：98.4 至 100.0 — 重复性：±0.2 — 模拟输出范围：—

测量条件
测量间隔：约5秒
移动平均次数：16次

管路与安装
PFA 管：1 inch 或 3/4 inch（避免黑色防静电部位）。管路表面必须无划痕、凹痕和浑浊。将测量单元安装在管路上；主机安装倾角应保持在 ±1° 以内。

样品条件
样品温度：20 至 80 °C
大气/样品温度波动：±1 °C（1 小时内）
样品压力：小于 0.4 MPa (G)；压力波动保持在 0.02 MPa 以内。样品液中的气泡会影响测量，应保证 PFA 管内无残留气泡。如测量压力与用于背景校正的压力不同，请执行零点校正。

电源与物理参数
电源：24 V DC
功耗：约 40 W（不含启动浪涌电流）
重量：主机约 5.8 kg；测量单元约 1.4 kg
外形尺寸：主机 217 (W) × 290 (D) × 173 (H) mm（不含突出部）；测量单元 186 (W) × 142 (D) × 83 (H) mm（不含突出部）
光源预计寿命：5 年
光纤电缆：标准长度 5 m；弯曲半径 R150 mm