激光切割机 LUD series晶圆加工行业自动装载
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产品规格型号
- 所用技术
- 激光
- 切割产品
- 晶圆
- 应用
- 加工行业
- 零件重量
- 自动装载
- 相位
- 单相
- 其他特性
- 自动, 高精度, 高速, 高效率
- X轴
200 mm
(7.87 in)- Y轴
300 mm
(11.81 in)- 重复精度
2 mm, 5 mm
(0.0787 in, 0.1969 in)- 整体长度
1,150 mm
(45 in)- 整体宽度
800 mm
(31 in)- 高度
1,700 mm
(67 in)- 重量
1,000 kg
(2,204.62 lb)
产品介绍
纳秒激光用于精确切割 GPP 晶圆。
产品优势
- 加工质量高
切割线宽窄（以紫外切割为例：包括热影响区 ≤ 30 ± 5 μm），边缘塌陷小 ≤ 10 μm
- 加工效率高
UPH ≥ 15（以 40 毫米、5 英寸 GPP 晶圆为例，包括自动装载和卸载）
- 良好的加工稳定性
纳秒激光器功率稳定性高，光束质量好（M ² < 1.5）
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