自动垂直插床
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产品规格型号
- 操控类型
- 自动
产品介绍
该设备是为8英寸及以上的芯片密封和测试工厂设计的，适用于半导体行业中40纳米及以下的低K值晶圆和硅基Gan晶圆。
- 高质量
采用超短脉冲处理，减少边缘塌陷、分层和热冲击，采用高精度视觉定位，确保开槽位置
- 高效率
基于空间光调制技术，整形点的大小和形状可以调整，激光能量利用率高，响应速度快
- 高集成度
集成了保护液涂层、晶圆开槽和清洗模块
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