Physik Instrumente/德国PI紧凑型位移台

运行行程: 100, 200 µm

... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...

运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm

... - 节省空间，重量轻 - 导向精度高 - 传感器分辨率高达 10 纳米 - 自锁定，静止时不发热 - 低噪音运行 精密级线性定位平台 PILine® 平台特别适用于需要快速精确定位的应用场合。关闭时，自锁驱动装置使平台位置保持机械稳定。因此大大降低了能耗和发热量。电池供电的低占空比应用或对热敏感的应用都能从这些特性中受益。轴的位置由编码器和光学基准开关测量，可实现可靠的重复运动。压电电机的驱动原理及其电气操作成本低廉，并且可以定制。 PILine® 超声波压电电机 PILine® 超声波压电电机的一个组成部分是一个压电致动器，该致动器通过一个耦合元件预载到一个可移动的导轨流道上。压电陶瓷致动器在 ...

运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm

... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。 直接测量原理 直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 ...

运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 集成线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...

运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm

... 宽度：114 毫米，行程范围达 610 毫米 精密滚珠丝杠，最大承重 50 公斤 步进电机或伺服电机 采用折叠式传动系统，设计 紧凑 垂直安装的机型配有固定制动器 功能强大的线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能步进电机或同步伺服电机、重型循环滚珠轴承和精密旋转编码器可在高负载条件下持续可靠地运行。可选的抱闸可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保了高可靠性和长使用寿命。 领先的设计 L-812 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。电机的高分辨率提高了跟踪性能 ...

运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm

... 适用真空度高达 10-6 hPa 采用折叠式驱动，结构非常 紧凑 闭环直流电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构 紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 ...

运行行程: 32 mm

... - 宽度仅 32 毫米，高度仅 8 毫米 - 使用增量式编码器进行直接位置测量，分辨率为 0.75 µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 ...

运行行程: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
重复精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm

... 最小增量线性运动达 1 nm 高精度位置编码器选项：增量式和绝对式测量 结构 紧凑：横截面 80 毫米 × 25 毫米 交叉滚柱导轨实现高负载能力和高几何性能 可选择铁芯和无铁芯三相直线电机 带直线电机和超扁平设计的 紧凑型直线运动平台 V-508 系列高精度直线电机平台采用超小型封装，具有高速度和高精度。这些闭环电动纳米定位平台非常适合高动态 24/7 工业自动化应用，其设计理念以可靠性为中心 - 高性能轴承、零摩擦线性电机、非接触式光学位置传感器和经过 ...

运行行程: 25, 5, 15 mm
速度: 1.5, 2, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 0.15, 2 µm

... 由于采用折叠式驱动，结构非常 紧凑 步进电机和闭环直流电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 设置 可快速大量供货 可提供适用于真空环境的型号 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带传动直线运动平台，结构 紧凑。可直接安装 XY 装置，无需转接板。 驱动装置 两相步进电机或闭环直流减速电机 间隙补偿螺纹主轴或滚珠丝杠 位置测量 带直流减速电机的变型：电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 应用领域 精密微型装配。研究。激光刻蚀自动化光学对准 ...

... 方向感应基准开关 可提供真空兼容型 基准级旋转平台 采用低游隙预载蜗轮，实现高精度定位。预载枢轴轴承实现高跳动精度。35 mm 直径的透明孔。 两个旋转方向的行程范围不受限制。非接触式基准开关。可与 L-511 线性平台和 L-310 Z 平台配合使用的 紧凑型多轴定位系统。可根据要求提供真空兼容型产品。 型号 低振动步进电机 带 ActiveDrive 的直流电机 直流伺服电机 无刷直流电机 附加高分辨率光学角度测量系统，直接测量 选项：测量跳动精度和定位精度 可根据要求提供摇摆、轴向和径向蠕变的单独测量记录 ...