线性位移台 M-11 series机动精准紧凑型
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 机动
- 其他特性
- 精准, 紧凑型, 闭合回路
- 运行行程
5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)- 速度
1 mm/s, 1.5 mm/s, 2 mm/s
- 重复精度
0.15 µm, 0.25 µm, 2 µm
产品介绍
由于采用折叠式驱动，结构非常紧凑
步进电机和闭环直流电机
非接触式基准和限位开关
可直接安装 XY 设置
可快速大量供货
可提供适用于真空环境的型号
紧凑型线性平台，用途广泛
折叠式带传动直线运动平台，结构紧凑。可直接安装 XY 装置，无需转接板。
驱动装置
两相步进电机或闭环直流减速电机
间隙补偿螺纹主轴或滚珠丝杠
位置测量
带直流减速电机的变型：电机轴上的旋转编码器
非接触式霍尔效应基准和限位开关
应用领域
精密微型装配。研究。激光刻蚀自动化光学对准
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