线性位移台 M-11 series
机动闭合回路精准

线性位移台
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产品规格型号

方向定位
线性
类型
机动
其他特性
精准, 紧凑型, 闭合回路
运行行程

5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)

速度

1 mm/s, 1.5 mm/s, 2 mm/s

重复精度

0.15 µm, 0.25 µm, 2 µm

产品介绍

- 非接触式基准和限位开关 - 可直接安装XY设置 - 可快速提供大量产品 - 可提供适用于真空的变种 折叠式驱动的线性平台,尺寸紧凑,带有皮带驱动。10毫米直径的透明孔径。XY装置可直接安装,无需转接板。 驱动器 两相步进电机或闭环直流齿轮电机 有间隙补偿的螺纹主轴或滚珠丝杠 位置测量 带直流电动机的变体。电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 应用范围 精密微组装。研究。激光刻字。自动化。光学对准。

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