可编程等离子发生器

... 技术规格

< li>功率等级：最高可达 1000 W（TruPlasma RF 1001 Air） li>< li>功率分辨率：0.1 W（100 mW 步进） li>< li>冷却方式：气冷 li>< li>输出阻抗：真实 50 Ω（CombineLine

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< li>全数字化电弧管理，极低电弧能量，提升涂层质量。 li>< li>输出波形可配置，便于根据工艺要求调整信号。 li>< li>支持直流、脉冲直流与双极模式，适应多种应用。 li>< li>发生器机壳内置水冷系统，无需外部冷却器。 li>

< li>PVD、PECVD

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< li>固态微波技术，具备高频率精度 li>< li>模块化平台概念，实现输出功率的精确可扩展 li>< li>智能自动调频，可自动调整至最佳频率并提高可重复性 li>< li>相位同步：多个发射单元可在多天线系统中实现相位同步和脉冲控制，改善等离子体均匀性 li>< li>稳健的设计，即使在失配情况下仍能可靠运行 li>< li>高精度数字频率调制，实现可重复的工艺控制 li>< li>通过

... 能量转换效率：高达约 80% li>< li>潜在能源成本降低：可达约 50% li>< li>工作电源范围：200–480 VAC（超宽范围电源） li>< li>冷却方式：无风扇冷却（洁净室适用） li>< li>安装形式：19 ...

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< li>产品系列：TruPlasma RF 3000 series。 li>< li>能量转换率：高达约 80%（页面给出值）。 li>< li>潜在能源成本降低：页面提及最多可降低约 50% 的能源成本。 li>< li>输出阻抗：采用 CombineLine

... b>下载

< li>提供产品手册（TruPlasma DC 3000 (G2) brochure）。 li>

< li>残余电弧能量：< 0.3 mJ/kW li>< li>输出功率范围：20 kW 至 300 kW li>< li>冷却方式：完全水冷 li>< li>外形：紧凑型

... ）以便工艺优化与故障分析。 li>

注意事项
紧凑型全水冷单元设计；可根据具体工艺要求进行配置，适用于洁净室环境。

技术规格

< li>峰值功率：可达 4 MW li>< li>最大电压：可达 2 kV li>< li>脉冲宽度：可达

... 随着半导体行业加速走向新的拐点，eVerest® 射频发生器满足了变革性等离子体控制的需求。其可配置的多级脉冲可实现瞬时或用户定义的过渡定时。此外，基于模型的高速、高精度频率调整和宽频率扫描范围可提供更高的工艺稳定性和控制能力。这些功能，加上更快的设定点响应、脉冲状态开始时的受控过冲以及先进的 PowerInsight by Advanced Energy™ 物联网智能，为下一个技术节点的工艺创新提供了动力。 功能特点 全射频传输系统、多种匹配解决方案选项和智能同步 在可编程多级脉冲曲线内实现速度和控制 高速射频输出响应和脉冲状态上升/下降时间 高达 ...