可编程等离子发生器 eVerest RF

射频

随着半导体行业加速走向新的拐点，eVerest® 射频发生器满足了变革性等离子体控制的需求。其可配置的多级脉冲可实现瞬时或用户定义的过渡定时。此外，基于模型的高速、高精度频率调整和宽频率扫描范围可提供更高的工艺稳定性和控制能力。这些功能，加上更快的设定点响应、脉冲状态开始时的受控过冲以及先进的 PowerInsight by Advanced Energy™ 物联网智能，为下一个技术节点的工艺创新提供了动力。 功能特点 全射频传输系统、多种匹配解决方案选项和智能同步 在可编程多级脉冲曲线内实现速度和控制 高速射频输出响应和脉冲状态上升/下降时间 高达 ±10% 的频率调整范围 设计中的 dP/dZ 稳定性 PowerInsight by Advanced Energy™ 物联网生态系统 优势 实现 < 2 nm 沉积和蚀刻轮廓的新型工艺开发 提供可靠的点火和射频稳定性，不受电缆长度的影响 可无缝集成到任何等离子系统中 增加制程空间，扩大稳定性窗口 由本地服务中心提供全球产品和应用支持