TRUMPF等离子发生器
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PECVD等离子发生器
TruPlasma DC Series 4000 (G2)
... 系列为困难材料的反应性直流溅射设计,属于脉冲式直流电源。设备支持脉冲模式与偏压模式两种工作方式,在对涂层质量和产能要求极高的 PVD / PECVD 工艺中提供稳定的等
离子体性能,降低电弧导致的停机并减小基板损伤。
标语
脉冲工艺,实现光亮表面
主要特性
- 数字信号处理,实现稳定的等离子体控制并将电弧相关的时间损失降到最低。
- 快速电弧处理,低电弧能量以减少基板损伤和表面缺陷。
- 宽泛且可调的脉冲频率范围及可调反向
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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。
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