表面处理等离子发生器

FG5001等离子发生器是5000系列发生器的基本型号。它最主要的特点是紧凑型设计，这样可以在使用或者在集成时节省空间。 在这个等级的发生器中，首次实现了供电自动变压稳压设计。此系列配备有最先进的 IGBT 半导体放大器，性能极高，并具有精确的等离子功率调节和控制功能。FG5001 等离子发生器可驱动最多两把等离子体喷枪。 典型应用： 集成在成套系统中，例如，集成在移印刷系统中 低污染环境下的简单应用 Plasmatreat实验室系统，带有可调速直线滑台及固定或旋转式等离子单喷枪， Openair® ...

等离子发生器既为Openair等离子系统提供能量，又通过由Plasmatreat公司开发的工艺监控技术实现了对运行状态的监控。这样就能够在非常短的反应时间里完成快速的工艺管理。此外，如果等离子喷枪存在问题，也能立刻通过各种内置传感器检测出来。 图形显示器清晰地显示了有关发生器、等离子喷枪的运行状态以及维护计划等信息。 强大的等离子发生器可以同时运行多达四把（FG5002）或八把（FG5005）等离子喷枪。 典型应用 可在生产系统中集成使用 可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行 不同领域的工业应用 需要两把以上等离子喷枪的应用场合 FG5002/5005 ...

5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术，性能优异，十分便于使用。它可对等离子放电室内的压力，电流、电压和频率等进行集成式模拟监控，并可对等离子体发出的光进行分析，从而获得最高程度的工艺可靠性。 设备采用用户界面友好的触摸屏操控，和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。 典型应用 集成到成套生产系统中 可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行 需要集成工艺监控及全面系统通讯功能的工业应用 支持机器人系统的集成 FG5002/5005 ...

最新一代双极性脉冲发生器 TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源专为借助 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子体辅助镀膜技术而开发；在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中，其凭借灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理提供出色结果。 全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。 直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲：得益于多种调整选项可节约成本。 通过输出信号变化轻松适配不同工艺。 无需外部部件，因此空间需求极低。

坚固且性能强大的固态功率等离子体发生器，可满足超高等离子体密度和工艺要求 TruPlasma MW 系列电源基于固态技术，其频率精度明显高于基于磁控管的微波电源。 创新的平台理念可以高效且经济地实现超高的等离子体密度和满足非常苛刻的工艺要求。 此外，模块化结构还可以实现精确调整输出功率。 电源始终保持稳定，不会影响工艺质量。 在半导体、太阳能电池和显示器制造中，TruPlasma MW 系列通过先进的工艺功能确保出色成果和的可靠性。 创新的纳秒级脉动实现出色的等离子体工艺控制。 在多天线系统中，不同电源可以同相运行和脉冲相位同步。 ...