表面处理等离子发生器 TruPlasma Bipolar 4000 series

自主直流脉冲PECVD

最新一代双极性脉冲发生器 TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源专为借助 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子体辅助镀膜技术而开发；在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中，其凭借灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理提供出色结果。 全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。 直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲：得益于多种调整选项可节约成本。 通过输出信号变化轻松适配不同工艺。 无需外部部件，因此空间需求极低。