PECVD等离子发生器

... Tru...sma 双极系列 4000 (G2.1) 工艺电源专为使用 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子辅助镀膜而设计。凭借灵活可变的输出信号和先进的电弧管理，它们在太阳能电池和半导体制造、装饰层和耐磨层沉积以及建筑玻璃镀膜方面都能提供出色的效果。 极低的电弧能量 全数字化电弧管理可实现最高的镀膜质量和生产率。 可配置的波形 通过改变输出信号，可轻松适应各种工艺。 一台发生器，多种应用 直流、脉冲直流和双极：多种设置，节省成本。 集成水冷却器 无需外部组件，因此只需很小的空间。 ...

... Tru...sma DC 系列 4000 (G2) 是专为重型材料的反应性直流溅射而开发的。这种采用脉冲直流工作的发生器在要求最高镀膜质量和生产率的关键 PVD 和 PECVD 工艺中得到了充分验证。紧凑型直流工艺电源可在脉冲和偏压模式下使用--一个外壳内有两个设备！ 高镀膜质量和生产率 数字信号处理保证了稳定的工艺和最小的电弧相关时间损失。 即使在关键工艺中也能获得最佳效果 快速电弧处理与直流脉冲技术相结合，最大程度地减少了对基材的损坏。 工艺调整简单 频率范围广，反向电压可调。 设计紧凑 ...

最新一代双极性脉冲发生器 TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源专为借助 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子体辅助镀膜技术而开发；在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中，其凭借灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理提供出色结果。 全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。 直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲：得益于多种调整选项可节约成本。 通过输出信号变化轻松适配不同工艺。 无需外部部件，因此空间需求极低 ...

坚固且性能强大的固态功率等离子体发生器，可满足超高等离子体密度和工艺要求 TruPlasma MW 系列电源基于固态技术，其频率精度明显高于基于磁控管的微波电源。 创新的平台理念可以高效且经济地实现超高的等离子体密度和满足非常苛刻的工艺要求。 此外，模块化结构还可以实现精确调整输出功率。 电源始终保持稳定，不会影响工艺质量。 在半导体、太阳能电池和显示器制造中，TruPlasma MW 系列通过先进的工艺功能确保出色成果和的可靠性。 创新的纳秒级脉动实现出色的等离子体工艺控制。 在多天线系统中，不同电源可以同相运行和脉冲相位同步。 ...