PECVD等离子发生器 TruPlasma DC 4000 (G2)

PVD

Tru...sma DC 系列 4000 (G2) 是专为重型材料的反应性直流溅射而开发的。这种采用脉冲直流工作的发生器在要求最高镀膜质量和生产率的关键 PVD 和 PECVD 工艺中得到了充分验证。紧凑型直流工艺电源可在脉冲和偏压模式下使用--一个外壳内有两个设备！ 高镀膜质量和生产率 数字信号处理保证了稳定的工艺和最小的电弧相关时间损失。 即使在关键工艺中也能获得最佳效果 快速电弧处理与直流脉冲技术相结合，最大程度地减少了对基材的损坏。 工艺调整简单 频率范围广，反向电压可调。 设计紧凑、坚固耐用 集成式冷却器可节省空间并降低维护成本