射频等离子发生器 TruPlasma RF 3000 series

有了这些射频发生器，Tru...sma RF 3000 系列因其坚固的设计和高效率而脱颖而出，您大可放心。这意味着它最适合用于稳定的可重现等离子工艺，如半导体、光伏电池或平板显示器生产过程中使用的等离子工艺。这些发生器已在世界各地安装了数千台，可确保高水平的生产率和出色的工艺效果。 效率和成本效益 效率高达 80%，使能源成本最多可降低 50%。 出色的射频弧管理 即使是要求苛刻的新工艺也能安全运行。 极其坚固耐用，工艺稳定性高 CombineLine 技术：在不匹配的情况下提供可靠的反射功率保护。 最大灵活性 连续或脉冲功率输出适用于各种应用。