表面处理等离子发生器 TruPlasma MW 1000

高频率自主PECVD

坚固且性能强大的固态功率等离子体发生器，可满足超高等离子体密度和工艺要求 TruPlasma MW 系列电源基于固态技术，其频率精度明显高于基于磁控管的微波电源。 创新的平台理念可以高效且经济地实现超高的等离子体密度和满足非常苛刻的工艺要求。 此外，模块化结构还可以实现精确调整输出功率。 电源始终保持稳定，不会影响工艺质量。 在半导体、太阳能电池和显示器制造中，TruPlasma MW 系列通过先进的工艺功能确保出色成果和的可靠性。 创新的纳秒级脉动实现出色的等离子体工艺控制。 在多天线系统中，不同电源可以同相运行和脉冲相位同步。 通过单个电源之间相位基准的变化可实现大面积的等离子体均匀性。 得益于高度精确的数字频率调制，可确保可再重现的工艺结果、出色的涂层质量和生产效率。 自动频率调整确保出色的工艺成果和较高的可再现性。 您可以信赖电源的功能——即使失调也不会影响工艺质量。 通过数字接口 EtherCat 可以在一毫秒内快速控制设备。 由此实现精确的等离子体分布。