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... 5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术，性能优异，十分便于使用。它可对等离子放电室内的压力，电流、电压和频率等进行集成式模拟监控，并可对等离子体发出的光进行分析，从而获得最高程度的工艺可靠性。 设备采用用户界面友好的触摸屏操控，和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。 典型应用 集成到成套生产系统中 可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行 需要集成工艺监控及全面系统通讯功能的工业应用 支持机器人系统的集成 FG5002/5005 等离子发生器的主要技术特点： 数字高频等离子体发生器，采用集成的微处理控制器进行系统和功率的控制 通过触摸屏控制面板来显示状态和故障信息，并实现符合人机工程学的操作 集成维护手册 功率输出: ...