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5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术，性能优异，十分便于使用。它可对等离子放电室内的压力，电流、电压和频率等进行集成式模拟监控，并可对等离子体发出的光进行分析，从而获得最高程度的工艺可靠性。 设备采用用户界面友好的触摸屏操控，和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。 典型应用 集成到成套生产系统中 可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行 需要集成工艺监控及全面系统通讯功能的工业应用 支持机器人系统的集成 FG5002/5005 ...
坚固且性能强大的固态功率等离子体发生器，可满足超高等离子体密度和工艺要求 TruPlasma MW 系列电源基于固态技术，其频率精度明显高于基于磁控管的微波电源。 创新的平台理念可以高效且经济地实现超高的等离子体密度和满足非常苛刻的工艺要求。 此外，模块化结构还可以实现精确调整输出功率。 电源始终保持稳定，不会影响工艺质量。 在半导体、太阳能电池和显示器制造中，TruPlasma MW 系列通过先进的工艺功能确保出色成果和的可靠性。 创新的纳秒级脉动实现出色的等离子体工艺控制。 在多天线系统中，不同电源可以同相运行和脉冲相位同步。 ...
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