半导体轮廓测量仪

用于微观结构和粗糙度的紧凑型光学轮廓仪 TopMap Micro.View®是TopMap白光干涉仪系列的紧凑型测量系统，能够对表面结构细节、表面纹理和表面粗糙度参数进行可重复和高分辨率的检查和评估。通过集成CST连续扫描技术，Z轴100毫米的行程提供了完整的100毫米测量范围，垂直分辨率在纳米范围内。这款光学轮廓仪的特点是设计紧凑，集成了电子元件，使用方便，例如，通过自动寻焦功能，在生产环境和测试实验室中进行快速有效的测量。 + 粗糙度、纹理和微观结构的全面积和三维形貌分析 + ...

新一代光学表面轮廓仪 TopMap Micro.View+ 是新一代光学表面轮廓仪。 该模块化工作站专为模块化设计，可进行定制和特定于应用的配置。 MICRO.VIEW +提供了最详细的表面粗糙度，纹理和微观结构形貌分析。 结合3D数据和颜色信息结合起来，实现惊人的可视化和扩展分析，如缺陷的详细文档。 高分辨率500万像素相机提供了令人难以置信的工程表面3D数据可视化。 启用自动化且可投入生产线 编码和电动转塔确保了物镜之间的无缝过渡。 Micro.View+ ...

　　SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。 二、产品功能 1.系统光源及寿命：双LED光源（白光和绿光），10万小时超长寿命，终身无需更换； 2.测量模式：垂直扫描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI） 3.多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。 4.一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。 5.测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。 6.测量中提供拼接测量功能。 7.分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。 8.分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。 9.分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。 三、应用领域 　　对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

　　SuperView W3白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 SuperView W3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。 ...

　　SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 　SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。 二、产品功能 1）系统光源及寿命：双LED光源（白光和绿光），10万小时超长寿命，终身无需更换； 2）测量模式：垂直扫描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI）； 3）多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。 4）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能； 5）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别； 6）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能； 7）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能； 8）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能； 9）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能； 10）具备word、excel等数据报表导出功能。 三、应用领域 　　对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 应用范例： 四、性能特色 1.高精度、高重复性 1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高； 2）独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性。 2.一体化操作的测量分析软件 1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能； 2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程； 3）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全； 4）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能； 5）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。 3.精密操纵手柄 　　集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。 ...

简洁 . 灵动 . 强劲. Slynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利是将3种测量方式融于一体，确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。 应用领域 - 汽车业 - 消费电子产品 - 能源行业 - 液晶显示屏 - ...