Thermo Scientific Helios Hydra PFIB-SEM 是多功能的多用途工具,具有四种不同的离子种类(氩气、氮气、氧气和氙气),使您能够选择提供最佳结果的离子。无论是进行 S/TEM 薄片成像、三维表征还是大面积物理故障分析,出色的结果都始于全面的样品制备。
Helios 5+ Hydra具有更强的定向应用能力。了解更多有关该创新系统如何应对失效分析和材料表征挑战的信息。
Helios Hydra PFIB-SEM 的仪器特点
多种等离子 FIB 离子种类
您可以在十分钟内轻松地在氩气、氮气、氧气和氙气之间切换,而不会降低性能。这种非凡的灵活性极大地扩展了 PFIB 的潜在应用空间,有助于研究离子与样品之间的相互作用,优化现有的使用案例。
超高分辨率 SEM 分析
将创新的多离子等离子-FIB 柱与单色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 柱相结合,提供先进的聚焦离子和电子束性能。
精确的 FIB 铣削控制
即使在最大电流下,也能通过优化的束流方案精确控制铣削过程和实验,并为手动和引导式工作流应用提供省时、直观的软件。
极端等离子 FIB 铣削
通过对所有 PFIB 孔径进行自动对准,可轻松实现大批量应用的显著增强,最大电流可提高 50%,最高可达 6µA。
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