概要在玻璃基板内部形成高精度内腔,内腔底面薄且透明,可实现激光或LED光的透过以及直接观察(例如浸液式显微镜)。内腔可按光学和封装需求设计为多种形状和断面。
优点内腔底面透明加工薄且透明的内腔底面,可实现激光/LED光的无失真透过并支持高分辨率光学观察。
金属化与几何选项可对上、下表面及侧壁进行金属化以形成电极、导线或屏蔽结构。内腔断面可选:直线、锥形、阶梯;支持多种内腔形状。
应用投影仪半导体AV / 移动设备- 用于智能手机、便携游戏机、数码相机、车载导航等的RF开关/继电器、压力传感器、陀螺仪、加速度传感器及图像传感器。
- 移动设备的显示组件。
车载- 用于车辆的各类压力传感器、加速度传感器、陀螺仪、LED罩等传感器外壳。
标准规格- 材质:玻璃
- 玻璃尺寸:≦φ200mm
- 最小厚度:0.15mm
- 厚度公差:±0.01mm
- 最小内腔尺寸:φ0.1mm / □0.07mm
- 内腔形状:无限制
- 内腔尺寸公差:±0.02mm
- 崩边:≦10μm
- 内腔断面形状:直 / 锥形 / 阶梯
- 金属化加工:可对上表面、底面及侧壁进行金属化
技术特性- 在玻璃基板内部形成高精度内腔,内腔底面薄且透明,适用于光学透过应用。
- 内腔底面透明加工支持激光/LED透过与显微观察。
- 可对上下表面及侧壁进行金属化以实现电极、导线或屏蔽结构。
- 内腔形状灵活、尺寸公差严格,适配半导体与光学应用的要求。