XYZ轴定位系统 782300:222.26

线性用于检测晶片和计量半导体工业

自动化的XYZ在线晶圆检测，样品容量大 该检测系统是专门为50公斤以下的大型扁平载体的自动化质量控制而设计的。该定位系统允许在一个非常紧凑的空间内同时定位Z方向的传感器和XY方向的试样。坚固的系统还允许使用重达20公斤的Z轴传感器或摄像系统。主轴驱动与主轴制动器相结合，保证了最佳的自持力，因此，在断电状态下可以保持垂直位置。低排放的全封闭系统也适用于灰尘和烟雾下的恶劣工业环境。在花岗岩上安装了一个悬挂系统，用于电缆布线。 紧凑的设计，具有优化的价格/性能比 - 是对650 x 650毫米以下的大型载体进行表面检测的理想选择 - 精确的测量，重复性可达2µm - 由于采用步进电机驱动，具有良好的性价比 - 用于传感器、显微镜和照相机的强大而坚固的Z轴，重量达20公斤 - 适用于工业环境，例如：灰尘、烟雾 可选择扩展。 - 各种行程可达1000毫米 - 带/不带花岗岩或铝制的框架和底板 - ISO 14644-1版本（根据要求可达到1级），例如，带外壳和排气系统的版本。 - 电缆布线的个性化解决方案 - 通过阻尼橡胶层或气动阻尼器调整振动去耦的方式 - 通过预先配置的控制器（包括示范性软件）立即使用