当物体运动时,高阶弯曲模态通常会产生复杂的振动模式,这种现象对传感器和致动器的设计至关重要。为了对此类设备进行全面的模态分析,PICOSCALE 振动计的测量激光会在样品上扫描,并在每个像素上测量振动。根据记录的数据可以重建振动图像。
测量封装 MEMS 的振动
当 MEMS 封装在硅外壳中时,如果不打开外壳,就无法使用传统的光学测量方法来评估其动态性能。PICOSCALE 测振仪利用红外测量激光和共焦检测方案,为分析运动传感器的动态性能开辟了道路。
我们感谢 TDK 集团旗下的 InvenSense 公司为本应用示例提供的支持。
识别智能手机扬声器的不良共振
要优化扬声器在各种设备中的性能,就必须确定扬声器的动态响应特性。在这里,我们使用 SmarAct 的 PICOSCALE 测振仪分析了来自不同制造商的两个智能手机扬声器的响应。该仪器能够直接对机械结构的振动模式进行成像,从而将振幅频谱中的不连续性归因于扬声器振膜或外壳的特定共振。
使用测振仪测试超声波传感器
通过测量电脉冲引起的机械运动,可以评估超声波传感器的性能。
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