激光振动计 PICOSCALE

扫描式非接触式光学

PICOSCALE测振仪是一个交钥匙解决方案，用于测量尺寸从几微米到几厘米的微型机械结构的振动。应用包括MEMS、传感器、微型扬声器以及轴承和执行器的测试。因为该仪器配备了一个集成的显微镜，可以测量多达100万像素，它非常适合以高空间和时间分辨率来观察振动模式。 > 用光进行非接触测量 > 扫描激光干涉仪测量平面外运动（在激光束的方向）。 > 测量带宽高达2.5MHz（10MHz采样率），分辨率低于1pm > 集成红外共聚焦显微镜，光学分辨率低至2µm > 封装的MEMS的模态分析 > 平面内运动的频闪成像（垂直于激光束方向）。 > 带有振动台的交钥匙仪器 当一个物体进入运动状态时，高阶弯曲模式往往会导致复杂的振动模式，这种现象在传感器和执行器的设计中具有至关重要的意义。为了对这些设备进行全面的模态分析，PICOSCALE测振仪的测量激光在样品上扫描，在每个像素上测量振动。从记录的数据中可以重建一个振动图像。 SmarAct还提供非扫描测振仪，在最多3个点上测量振动和运动，这是一个理想的解决方案，可以跟踪三维运动系统的动态，也可以识别机器的噪声源。