YX-2H8 型大晶棒定向仪是在标准定向仪的基础上,针对多晶体(单晶硅、蓝宝石、镓等)而设计的,主要用于测量晶体圆板、晶棒,其显示装置置于外部,在样品台上增加了轴承导轨。
标准配置:GA、GC 角向仪
GA 角位仪的一个面可以测量¢2-8 英寸直径的晶体圆板,如硅(111)蓝宝石 C 面的角度;同时可以测量晶棒的基准面或 OF 面,如硅(110)蓝宝石 A 面和其他晶体的角度。
GC 角测量仪的另一个表面可以测量晶棒端面,操作员可以通过改变辊棒的宽度来测量直径¢5-8nches、长度 500mm 的晶棒端面。例如:硅(111,100)蓝宝石 C 面和其他晶体的角度。还可测量水晶圆板。
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