定向测量系统 YX-6D/6DA

X 射线晶圆用

该仪器专门用于硅单晶棒取向测量，可与 YX-5Z/6Z和多线切割装置配合使用。 其最大的特点是，在取向测量后，可以直接计算晶棒的 l 偏转角、X & Y 值，并能精确测量部分晶圆的角值。 结构： YX-6D 硅单晶定向仪器由 X 射线控制器、角度装置、录音机、电磁光快门、微控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度计等组成。 计数软件适用于国际通用计算方法，具有度单位，显示最小精度为 0.001 度，测量定义为 ± 0.008 度（± 30 ℃），本产品可测量直径 3-12 英寸，长度 500mm 111,100 晶体表面等。